| 1. Identificação | ||||
| Tipo de Referência | Artigo em Evento (Conference Proceedings) | |||
| Site | mtc-m21b.sid.inpe.br | |||
| Código do Detentor | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S | |||
| Identificador | 8JMKD3MGP3W34P/3HSNN5P | |||
| Repositório | sid.inpe.br/mtc-m21b/2015/02.04.12.17 | |||
| Última Atualização | 2015:02.04.12.18.24 (UTC) simone | |||
| Repositório de Metadados | sid.inpe.br/mtc-m21b/2015/02.04.12.17.12 | |||
| Última Atualização dos Metadados | 2021:03.04.02.46.10 (UTC) administrator | |||
| Chave Secundária | INPE--PRE/ | |||
| Chave de Citação | StellatiUedNonBarAle:1995:ReRePl | |||
| Título | Recent results from a plasma immersed ion implantation experiment  | |||
| Ano | 1995 | |||
| Data de Acesso | 21 maio 2024 | |||
| Tipo Secundário | PRE CN | |||
| Número de Arquivos | 1 | |||
| Tamanho | 197 KiB | |||
| 2. Contextualização | ||||
| Autor | 1 Stellati, Claudemir 2 Ueda, Mário 3 Nono, Maria do Carmo de Andrade 4 Barroso de Castro, Joaquim José 5 Alexander, Anderson | |||
| Grupo | 1 2 LAP 3 LAS 4 LAP 5 LAP | |||
| Afiliação | 1 Instituto Tecnológico de Aeronáutica 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 3 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 4 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) 5 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE) | |||
| Endereço de e-Mail do Autor | 1 2 ueda@plasma.inpe.br 3 maria@las.inpe.br 4 barroso@plasma.inpe.br | |||
| Nome do Evento | Encontro Brasileiro de Física dos Plasmas, 3. | |||
| Localização do Evento | Águas de Lindóia, SP | |||
| Data | 4-6 dez. | |||
| Páginas | 60-63 | |||
| Título do Livro | Proceedings | |||
| Histórico (UTC) | 2015-02-04 15:07:50 :: simone -> administrator :: 1995 2021-03-04 02:46:10 :: administrator -> simone :: 1995 | |||
| 3. Conteúdo e estrutura | ||||
| É a matriz ou uma cópia? | é a matriz | |||
| Estágio do Conteúdo | concluido | |||
| Transferível | 1 | |||
| Tipo do Conteúdo | External Contribution | |||
| Resumo | A new method of ion implantation named Plasma Immersed Ion Implantation (PIII) was developed in late 80's by the Wisconsin group as an alternative to the traditional method in which the ions are implanted with line-of sight geometry. In this work we present the first PIII results in N+ implantation of aluminum samples by using a nitrogen plasma with density of 8.0x10 9 cm -3 and 0.5 eV of temperature. During the implantation process of N+ ions are extracted from the plasma and accelerated towards the sample following plasma sheath propagation. The ions are implanted with 15 keV of the peak energy at a fluence of 7.0x10 10 ions/cm2 per pulse. Results of X-ray diffraction of the aluminum sample evidence the occurrence of the N+ implantation by a significant increase of the intensities of characteristic peaks. | |||
| Área | FISPLASMA | |||
| Arranjo 1 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAS > Recent results from... | |||
| Arranjo 2 | urlib.net > BDMCI > Fonds > Produção anterior à 2021 > LABAP > Recent results from... | |||
| Conteúdo da Pasta doc | acessar | |||
| Conteúdo da Pasta source | não têm arquivos | |||
| Conteúdo da Pasta agreement |
| |||
| 4. Condições de acesso e uso | ||||
| URL dos dados | http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3HSNN5P | |||
| URL dos dados zipados | http://urlib.net/zip/8JMKD3MGP3W34P/3HSNN5P | |||
| Idioma | en | |||
| Arquivo Alvo | recent results.pdf | |||
| Grupo de Usuários | simone | |||
| Grupo de Leitores | administrator simone | |||
| Visibilidade | shown | |||
| Permissão de Leitura | allow from all | |||
| Permissão de Atualização | não transferida | |||
| 5. Fontes relacionadas | ||||
| Repositório Espelho | sid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.22 | |||
| Unidades Imediatamente Superiores | 8JMKD3MGPCW/3ESR3H2 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS | |||
| Acervo Hospedeiro | sid.inpe.br/mtc-m21b/2013/09.26.14.25.20 | |||
| 6. Notas | ||||
| Campos Vazios | archivingpolicy archivist callnumber copyholder copyright creatorhistory descriptionlevel dissemination doi e-mailaddress edition editor format isbn issn keywords label lineage mark nextedition notes numberofvolumes orcid organization parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project publisher publisheraddress resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark serieseditor session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype type url versiontype volume | |||
| 7. Controle da descrição | ||||
| e-Mail (login) | simone | |||
| atualizar | ||||